技术编号:1367307
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在利用处理液处理基板的情况下适用的。背景技术 在使用于液晶显示装置中的玻璃制的基板上形成电路图形。要在基板上形成电路图形,就采用平版印刷工艺。平版印刷(lithography)工艺如周知的,在上述基板上涂覆抗蚀剂,在该抗蚀剂上通过形成了电路图形的掩膜而照射光。接着,去掉抗蚀剂的没照射光的部分或照射了光的部分,蚀刻基板的已去掉了抗蚀剂的部分,蚀刻之后,通过反复多次进行去掉抗蚀剂等的一系列的工序,就在上述基板上形成电路图形。在这样的平版印刷工艺中,需...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。