技术编号:13677734
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶炉提拉法生长单晶硅棒技术领域,尤其是涉及特定单晶炉的自动控制方法。
背景技术
CZ-80晶体生长设备(单晶炉)主要用于拉制6-9寸大直径、低氧碳单晶硅棒,配有PLC自动控制系统,熔料量140KG,由河北晶龙阳光设备有限公司生产,具有优良的性能,已经得到广泛使用。
目前没有CZ-80单晶炉自动化收尾工艺,必须由人工控制单晶炉的单晶拉速和温校等相关参数进行单晶的收尾工艺操作。单晶等径生长结束开始进行收尾,此时炉内剩料较少,收尾过程中需不断升温,...
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