技术编号:1367856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及保持区划的空间内的清洁环境的无尘台。背景技术 例如,在制造半导体等的无尘室中,将通过具备HEPA过滤器等的空气净化装置进行净化过的、灰尘极少的空气从通气口送入,从而保持无尘室内高度净化的环境。这样的无尘室的设置需要在建筑物整体及隔离的地板上设计、设置除尘装置及通道的大规模施工。有一种无尘台为人们所知,其不进行这种大规模的设置施工,作为简单地保持被限定的范围内净化环境的机构,例如设置在普通环境的室内使用。该无尘台具备在宽1m、高2m大小的台内收容了...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。