技术编号:13684416
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密测量技术领域,涉及一种检验Wolter-Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统及方法,尤其涉及一种采用接触式轮廓仪检验 Wolter-Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统及方法。
背景技术
Woler I型成像系统是一种重要的掠入射成像系统,广泛用于X 射线掠入射光学,例如:天文观测用的X射线望远镜、样品检测用的 X射线显微镜、极紫外(EUV)光刻系统中的光学收集器等。单层Woler I型反射镜是由两个同轴共焦的轴对称非球面组合而成,如图1 所示。其中,S为点光源,I为S...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。