技术编号:13685669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置,属于蓝宝石晶片生产设备技术领域。
背景技术
蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性优良、化学性能稳定等优点,广泛应用于机械、光学、信息等高技术领域,蓝宝石加工后表面布满各种杂质污染物,二沾污会影响器件性能,在蓝宝石晶片的清洗中,一方面基于对晶片表面洁净度要求较高,另一方面由于现有设备的局限性几乎无法通用于不同粗糙度不同尺寸的晶片,所以在清洗的选择上更倾向于传统的湿法清洗的工艺,而湿法清洗的方式带来...
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