技术编号:1369378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,尤其是一种用于多晶硅生产的。背景技术在多晶硅生产过程中,因各方面原因,换热器内产生的污垢会使设备和管道线路失效,装置系统会发生生产下降,能耗、物耗增加等不良情况,污垢腐蚀特别严重时还会使流程中断,装置系统被迫停产,直接造成各种经济损失,甚至还有可能发生恶性生产事故。加热器的传统清洗方式多用机械、高压水的方式,这种洁净方式的缺陷是在处理过程中会伤及或腐蚀设备,影响到设备的加热性能。发明内容本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种,既能...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。