技术编号:1371864
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于除去附着在电路基板等板状工件上的尘埃的除尘装置,具体地说,涉及也能除去附着在工件侧面的尘埃的除尘装置。背景技术 印刷电路基板、液晶基板等精密的基板,为了提高其成品率,在进行烧制电路图形的作业和组装作业等的精密作业前,要尽量地除去附着在工件上的尘埃(尘埃包含液晶板等的切削时产生的各种异物)。为此,在已有技术中,提出了专用于除去附着在这种板状工件上的尘埃的除尘装置。这种除尘装置,例如有日本特开平6-296945号公报揭示的除尘装置,该除尘装置中,...
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