技术编号：13721688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。化学机械平坦化中所用的抛光垫的制造已知包括将氨基甲酸酯形成混合物灌入(例如通过抽吸)模具中且固化，随后使固化的聚氨基甲酸酯在平行于模具表面的方向上脱模且切断(例如切削)以形成具有期望厚度的层，以及接着使所得层成形，例如通过研磨、导引或压花成抛光垫。此前，形成这种成型物的已知方法需要用户在填满每个模具之后停止手动灌注氨基甲酸酯形成混合物。这意味着用户必须在灌注氨基甲酸酯形成混合物料流的情况下快速插入小型容器，同时保持灌注嘴非常接近于模具表面且不与模具(“饼模”)中的材料产生任何接触；然后，用...
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