技术编号:13737123
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种场发射阴极及制备方法,特别涉及一种微纳结构的复合型场发射阴极,属于真空电子器件及微纳米加工制备和应用技术领域。背景技术真空电子系统的最基本部分是电子源。实际的例子很多,例如阴极射线管、显示器、微波放大器以及扫描电子显微镜等。人们已经开发出了多种使电子从物质中发射出来的技术,例如热电子发射、场致电子发射、光电子发射以及自释电子发射等(Modinors.A,Field,therminonic,andsecondaryelectronemissionspectroscopy.19...
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