技术编号:13749332
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于等离子体技术领域,涉及到一种管状大容积等离子体聚合涂层装置,用于在基材表面制备聚合物涂层。
背景技术
等离子体聚合涂层是一种重要的表面处理方法。在等离子体聚合涂层过程中,将需要处理的基材放在真空室内,在真空状态下通入工艺气体和气态有机类单体,通过放电把有机类气态单体等离子体化,使其产生各类活性种,由这些活性种之间或活性种与单体之间进行加成反应形成聚合物。在等离子体聚合涂层的工业应用中,为了尽可能提高处理批量和降低处理成本,需要尽可能增大真空室的容积以便能够...
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