技术编号：13756962
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种非蒸散型吸附泵，属于真空获得与维持领域。
背景技术
某真空系统要求提供高能离子束流传输路径中的高真空条件，以减少束流损失。该系统现采用内置式液氮低温冷凝泵抽除大量水蒸汽，以实现所要求的真空度，但在试验过程中发现，当高能离子束流工作时，由于高热和电离作用会产生大量气体，特别是氢气，无法维持原有的真空度。调研发现，非蒸散型吸气剂是解决瞬时大量气体，特别是氢气的有效途径，但是市面上现有的非蒸散型吸气剂多制作成安装在加热管上的吸气片结构，一般多块吸气片为一组形...
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