技术编号：13758417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及仪器检测传感技术领域，具体涉及一种轮廓检测测头、检测仪及检测方法。
背景技术
1929年德国科学家Schmaltz研制出了第一台触针式的轮廓记录仪，该仪器利用了光学杠杆放大原理测量表面轮廓。继此之后，英国Taylor Hobson公司也投入到表面轮廓仪的研发当中并取得不小成就。随着传感检测技术的发展，表面形貌测量的分辨率与精度大大提高，能达到亚微米甚至纳米级别。如今，表面形貌的测量方式大致分为五种：机械触针式测量、光学探针式测量、干涉显微测量、扫描电子显微...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。