一种薄膜晶体管及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:13761860

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本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管及其制造方法。

背景技术

IGZO是铟镓锌氧化物(indium gallium zinc oxide)的缩写,非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶体管技术中的沟道层材料,它是一种薄膜电晶体技术,是指在TFT-LCD主动层之上,打上一层金属氧化物。简单说,其实IGZO只是沟道层材料,而并不是一种新的面板技术,和IPS、SVA、OLED并不是一个层级的概念,总得来说IGZO还在TFT-LCD的范畴之内。IGZO材料由日本东京工...
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