薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置与流程技术资料下载

技术编号:13761947

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本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置。

背景技术

在显示行业中,显示装置的像素单元中形成有薄膜晶体管(英文:Thin Film Transistor;简称:TFT),该TFT可以驱动像素单元实现图像显示。

相关技术中,TFT可以为非晶硅(英文:a-Si)TFT,a-Si TFT包括:衬底基板和依次形成在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极金属图案,其中,有源层包括采用a-Si材料形成的a-Si层,源漏极金属...
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