技术编号:13765888
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2014年4月30日递交的名称为“ANGULAR SCANNING U SING ANGULAR ENERGY FILTER(使用角能量过滤器的角扫描)”的美国临时申请No.61/986,350的优先权,其内容通过引用全部合并于此。
技术领域
本公开总体上涉及用于将离子注入工件的离子注入系统和方法,更具体地,涉及一种用于同时在相对于工件的第一方向上扫描离子束并在第二方向上选择性地改变被扫描的离子束相对于工件的角度的系统和方法。
背景技术注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。