技术编号：13765916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及用于在晶片检验的逻辑中的图案抑制的方法及系统。
背景技术
下列描述及实例不因为包含于此章节中而将其视为现有技术。
使用光学或电子束技术的晶片检验是用于调试半导体制造工艺、监测工艺变化及改进半导体产业中的生产良率的重要技术。随着现代集成电路(IC)的规模渐减以及制造工艺的复杂度渐增，检验变得越来越困难。
在对半导体晶片所执行的每一处理步骤中，在晶片上的每一裸片中印刷相同电路图案。大部分晶片检验系统利用此事实且使用相对简单的裸片对...
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