技术编号：13791522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械装置，具有第一衬底、具有至少一个第一空腔、具有通往第一空腔的封闭通道，其中，该通道穿过第一衬底延伸。
背景技术
由文献WO 2015/120939 Al已知一种用于有针对性地调整MEMS元件的空腔中的内压力的方法。在此，在罩晶片中或传感器晶片中产生狭窄的、通往MEMS空腔的进入通道。空腔通过进入通道被灌注以希望的气体和希望的内压力。之后，通过激光局部加热围绕进入通道的区域。在此，衬底材料局部液化并且在凝固时严密地封闭进入通道。
当想要...
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