新型功率器件控制自动化静电防护测试系统及方法与流程技术资料下载

技术编号:13803088

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本发明涉及半导体可靠性测试中的静电可靠性测试领域,特别涉及一种新型的测量半导体元器件静电防护特性的自动化系统及方法。

背景技术

静电防护一直是半导体可靠性方面的重点研究方向,随着半导体制程不断进步,静电放电对集成电路造成损伤的风险日益收到人们的关注。在静电可靠性的研究和静电防护设计中,如何测量待测器件的静电特性尤为重要。

为了满足静电可靠性研究、静电防护设计和评估静电防护等级的需求,所有的静电防护现象主要被分为人体模型HBM、机器模型MM和充放电模型CD...
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