技术编号:13803088
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体可靠性测试中的静电可靠性测试领域,特别涉及一种新型的测量半导体元器件静电防护特性的自动化系统及方法。
背景技术
静电防护一直是半导体可靠性方面的重点研究方向,随着半导体制程不断进步,静电放电对集成电路造成损伤的风险日益收到人们的关注。在静电可靠性的研究和静电防护设计中,如何测量待测器件的静电特性尤为重要。
为了满足静电可靠性研究、静电防护设计和评估静电防护等级的需求,所有的静电防护现象主要被分为人体模型HBM、机器模型MM和充放电模型CD...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。