技术编号：13803702
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2016年8月11日提交的题为“High-Precision Dispense System With Meniscus Control”的美国临时专利申请No.62/373,733的权益，其通过引用以其整体并入本文。
技术领域
本公开内容涉及半导体制造，并且特别地涉及膜分配/涂布及显影过程和系统。
背景技术
使用涂布/显影工具的各种精密加工过程指定将不同化学品分配到基板(晶片)上以用于特定的设计。例如，可以将各种抗蚀剂(光刻胶)...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。