技术编号：13865465
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种方位可控的微运动平台及其方位控制方法，属于微机电一体化技术，微纳技术领域。背景技术扫描电子显微镜因其能对被观察样品微观形貌及成分进行深入分析，且具有纳米级分辨率的特点，在微纳技术及微纳操作领域的应用越来越广泛。扫描电子显微镜用传统的样品观测平台具有若干系列规格尺寸，标准化程度较高，且每次观察样品仅能对样品某一特定表面形貌进行观察，若需对其他方位的结构特征进行观察时需多次人工更换样品平台或样品方位，长期反复更换会破坏扫描电子显微镜真空腔的真空度，降低设备使用寿命，且会产生耗费周期较...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。