技术编号：13866144
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及声电领域，尤其涉及一种MEMS芯片以及MEMS麦克风。背景技术MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的声电换能器，具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。MEMS麦克风包含有一个基于电容检测的MEMS芯片和ASIC(专用IC)芯片，这两颗芯片被封装在一个由PCB(Printed Circuit Board，印制板电路) 与金属外壳组合的SMD(Surface Mounted Devices，表面贴装器件)...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。