技术编号：13867988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石英舟托架。背景技术石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石。四氧化硅为原料高温熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999％，石英玻璃制品的纯净度也非常高，即使在高温状态下，也不会向外释放杂质微粒。石英玻璃还具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线。太阳能电池片制造领域中，扩散工序采用高温长时间将杂质原子扩散进硅片中，整体耗能较高。现有的石...
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