技术编号:13888384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及麦克风领域,尤其涉及一种硅麦克风。背景技术麦克风作为一种将声音信号转换为电信号的装置,广泛的应用在手机、摄像机等智能终端设备中。随着社会的发展以及高科技术的不断进步,微电机技术(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)已经逐渐融入至麦克风的生产领域中,MEMS实现了各种传感器的微型化和低成本化,并且在智能终端设备中已经出现诸如MEMS硅麦克风的信号转换装置。现有硅麦克风的导电振膜与其下方背腔的电极面构成电极,所述导电振膜的唯一方向与电场方向相同。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。