技术编号：13906252
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器。背景技术基板台是TFT(薄膜场效应晶体管)光刻机中的关键组成部分，主要用于承载加工液晶面板的基板。为了降低地面振动的影响，基板台一般安装在减振器支撑的内部框架上。在这种情况下，减振器除了隔离地基振动外，还必须快速补偿基板台运动时重心变化引起的减振器位置波动，缩短位置波动的稳定时间，以便于进行基板交接，确保光刻机的产率。随着液晶面板尺寸的不断增加，基板台的尺寸、质量、速度也在不断增加，比如TFT 6G光刻机中，基板台的...
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