技术编号:13908322
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本公开涉及一种体声波滤波器装置。背景技术近来,在无线通信系统领域,使用体声波(BAW)滤波器装置的装置作为用于获得小型化、多功能和高性能的必要部件已经起到了重要作用。同时,为了提供体声波滤波器装置的期望特性,可能会需求能够在真空状态下保持可靠密封以阻止水分和其它外部元素渗入的全密封。也就是说,在制造体声波滤波器装置时,已经采用晶圆级键合(bonding)技术以保持全密封。为此,可在基板晶圆和盖晶圆的边缘设置用于全密封的键合部。体声波滤波器装置可设置有接地部,接地部可被设置在基板晶圆上,并...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。