技术编号:13940389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及用作谐振器的压电部件。背景技术现有技术中,作为微型计算机的模块用谐振器,已知包括支撑基板和将两端部固定在支撑基板上且被搭载成可进行振动的压电元件的结构的压电谐振器。在压电谐振器中追求振荡频率的高精度化,已知如下技术,即,使用对压电元件的激励电极进行离子束照射的调频技术,使振荡频率高精度化(例如,参照专利文献1)。根据上述技术,在离子束照射时,为了防止支撑基板上的电极(电容形成用电极)被离子束蚀刻,设计成电容形成用电极不在压电元件的振动部的下方。进一步地,还进行了使电容形成用电极的宽...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。