电容式感湿元件的制作方法技术资料下载

技术编号:13941175

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本发明是关于一种电容式感测元件,尤指一种使用多孔电极与多孔隙介电材料,并以持续施加偏压产生热能方式干燥感测层,即可重复使用的电容式感湿元件。背景技术台湾处于湿热的亚热带,湿度很重,因此湿度检测广泛用于工业、医疗、科技与生活等领域,渐渐成为生活品质的重要指标。在早期用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法,已经无法满足现在的需求,所以依据现代科技发展的需要,使得测量湿度要比测量温度复杂的多,温度可以被独立的测量,然而湿度却会受其他因素如大气、温度,影响灵敏度及响应速度。习知湿敏元件主要分为电阻式...
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