技术编号：13978743
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体生长领域，具体涉及一种单晶炉。背景技术人工晶体在科学技术和工业生产领域中起到越来越重要的作用，特别是单晶硅作为一种半导体材料，在集成电路和其他电子元件应用越来越广泛。现有的大部分的单晶硅都采用直拉法制造，在传统的直拉法制造中，通常是在单晶硅生长之前，操作人员在单晶炉的控制系统里边设定好相应的程序，然后单晶炉的控制系统按照程序的设定一步一步的完成单晶硅的生长过程。这种控制系统为单向控制方式、功能单一，单晶硅生长的好与坏基本完全依靠操作人员的专业经验和操作技能，其产品质量相对不高。然而...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。