技术编号:13980802
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英坩埚烘干设备技术领域,尤其涉及一种石英坩埚风干系统。背景技术随着全球范围内煤炭和石油等不可再生能源的供应频频告急,能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈,而作为一种可再生的新能源,太阳能越来越受到人们的关注,开发太阳能资源已成为寻求经济发展的新动力之一。近年来,随着太阳能光伏市场的迅猛发展,对太阳能级单晶硅片和多晶硅片的需求量越来越大。而石英坩埚是制备太阳能单晶硅的重要消耗性器件,其表面洁净程度的高低,杂质含量的多少,对单晶硅的纯度和电学性能有着重大影响。若使用洁净度低、杂质含...
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