技术编号：13982257
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在以液晶面板或有机EL(电致发光)面板为代表的显示装置的制造中有用的光掩模及其制造方法、以及使用了该光掩模的显示装置的制造方法。背景技术已知有如下的光掩模：其具备对在透明基板上形成的遮光膜和半透光膜进行图案形成而形成的转印用图案。半透光膜是使在光掩模的曝光中使用的曝光光部分透过的膜。根据包含该半透光膜的转印用图案，能够将在对被转印体上的抗蚀剂膜进行感光和显影时形成的抗蚀剂图案的膜厚或形状控制成期望的状态。具有这样的转印用图案的光掩模除了用于半导体装置以外，还有效用于上述显示装置的制造。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。