技术编号:13983052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种MEMS麦克风,更准确地说,涉及一种具有泄压功能的MEMS麦克风。背景技术MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风,其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件,振膜、背极板构成了电容器并集成在硅晶片上,实现声电的转换。传统的振膜的制作工艺是在硅基底上做一层氧化层,然后在氧化层上利用沉积的方式制作一层振膜,经过掺杂、回火后,蚀刻出所所需的图形,振膜通过其边缘的铆钉点固定在基底上。当然,还需要从振膜上引出电极,通过振膜的振动,改变振膜与背极板之间的距离,从而...
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