技术编号：13996376
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微纳器件的加工装置，具体涉及一种微纳米材料转移加工装置。背景技术近年来，随着各种新型微纳材料的发现，比如石墨烯、二硫化钼等，基于微纳材料的各种新型器件也随之产生。现阶段，利用传统的微纳加工方法，已经能够很好地做出基于单一微纳材料的各型器件。但是，除了基于单一微纳材料的器件外，将两种以上的微纳材料做成夹层结构，或者将这些微纳材料和其它已知材料做成夹层结构，也是非常重要的研究方向。然而，基于现在的微纳材料制备方法和器件加工水平所限、尚无很好的方法将微纳尺度的材料做好相对位置精确控制...
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