技术编号:13996847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密研磨抛光加工技术领域,涉及一种具有无级变速功能的研磨抛光装置。背景技术当前的超精密加工技术,以不改变工件材料物理特性为前提,以获得极限的形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性为目标,在电子、通信、计算机、激光、航空航天等领域有广泛应用。其中,超光滑抛光加工技术作为是一门重要的超精密加工技术,是获取光学元件、蓝宝石衬底、单晶硅衬底等高精度表面的重要手段之一。平面研磨是超光滑抛光加工技术的前期工序,其加工精度对最终产品的质量有至关重要的影响,抛光将进一步使工件表面粗糙度降低,提高...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。