技术编号:13997125
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电池片生产装置技术领域,尤其是涉及一种石墨舟销钉及镀膜装置。背景技术目前管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积法,英文全称:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)存在一个严重的问题:由于产量要求及机台硬件原因,炉管内炉壁与管中心温度差异较大,从而使石墨舟外部舟片的温度高于内部舟片的温度;硅片通过图1所示的石墨舟销钉固定于舟片上,硅片卡设于销钉100与卡点300之间,硅片的侧边与内接触环200的外壁点接触。由于石墨舟外部舟片的温度高于内...
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