技术编号：14000012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造方法，具体地，涉及一种传感器的制造方法及由此方法制造的传感器，尤其涉及一种气敏器件的制造方法及由此方法制造的气体传感器。背景技术环境的质量与人们的生活和工作舒适度，健康息息相关。近几年来，随着人们对环境的要求越来越高，人们希望能有简单可靠，价格便宜的方法和产品检测环境空气的质量，比如一氧化碳，可燃性气体，乙醇，二氧化氮等的不适或有毒气体在空气中的浓度。利用金属氧化物在高温下的气敏特性来测量气体种类和浓度是一种比较常用的方法。但是，此类传感器一般需要制造工艺复杂的MEMS(Mic...
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