技术编号:14006575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及固定机构技术领域,具体为一种碳化硅加工加热装置的固定机构。背景技术现有技术中的碳化硅晶体生长炉,一般采用鸟笼式的加热器。但是目前这些加热装置的加热棒安装不牢固,与电极板的固定容易产生接触不良的现象,为此,我们推出一种碳化硅加工加热装置的固定机构。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工加热装置的固定机构,以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种碳化硅加工加热装置的固定机构,包括第一电极板和第二电极板及其外侧的加热炉,所述第一电极板和...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。