技术编号：14007082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种MEMS（微机电系统）气体差压传感器，特别是基于热导式原理，采用MEMS工艺实现的气体差压传感器，属于传感器技术领域。背景技术差压传感器可以应用于管道中气体流量检测，比如在管道中添加孔板结构，在有气流通过时，会在孔板的上下游形成差压，也可以采用文丘里结构，有气流流过时，在管道较粗的位置和较细的位置也会形成差压；采用差压传感器测量差压的大小，即可推得管道中气体的流量；差压传感器还可以应用于空气净化器滤网堵塞层度的检测，堵塞越严重，滤网两侧形成的差压越大，采用差压传感器测得差压的大...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。