技术编号:14010959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2015年3月23日提交的标题为“Structure to Achieve Active Dimensional Stability During Temperature Changes”的临时美国专利申请序列号62/136,930的优先权。技术领域本发明涉及任何需要尺寸稳定性的领域。这包括但不限于纳米压痕测量。更具体地,本发明涉及补偿由于这种系统中的温度变化引起的尺寸变化。背景技术在涉及诸如扫描电子显微镜、精密光学系统、对准系统和纳米压痕测试系统等各种高精度测量仪器的应用中,保持样品...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。