技术编号:14011015
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种快速热处理设备,更具体地,涉及一种快速热处理设备,其用于测量以非接触方式进行精确快速热处理的基板的温度。此外,本发明是在国家研究和发展项目的支持下开发的一项发明,并且支持本发明的国家研究和发展项目的信息如下:[项目编号]10048649[政府部门名称]贸易、工业和能源部[研究管理局名称]韩国工业技术评估所[研究计划名称]核心工业技术发展计划[项目名称]具有动物纤毛结构激发的开放结网络结构的有毒气体传感器电极的低温(50℃或更低)干式表面处理技术的发展[机构]ULTECH有限公司[研...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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