技术编号：14012440
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及原子钟技术领域，具体涉及一种芯片原子钟的MEMS原子腔的制作方法。背景技术芯片原子钟是一种精密时间计量仪器，由于其体积小、重量轻、功率消耗小、启动速度快等优点，可广泛应用于定位、导航、通信、军事等多个领域。芯片原子钟的物理系统微型化设计采用微机电加工(MEMS)工艺，将物理系统的微型原子气室、微光学系统、微型磁场线圈、磁屏蔽结构及保温结构作为整体进行加工。MEMS工艺制作的微型物理系统，利用热量集中的优势降低功耗。在CPT原子频标的微型化设计中，微型物理系统是决定性因素。物理系统体积受...
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