技术编号:14014046
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及使用多个分束带电粒子(beamlet)的粒子光学系统,如电子显微术设备和电子刻绘(lithography)设备。本发明还涉及可用于使用多个分束带电粒子的粒子光学系统中的粒子光学组件和排布结构;不过,所述粒子光学组件在本申请中并不限于使用多个分束的系统。这种粒子光学组件可以用于只使用单束带电粒子,或者使用多束带电粒子或多个分束带电粒子的粒子光学系统中。本发明可以应用于任何类型的带电粒子,如电子、正电子、迈子(myon)、离子等。背景技术根据US 6252412 B1已知一种常规粒...
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