基于双溶剂的精密组件清洗方法、设备及系统的制作方法技术资料下载

技术编号:1402711

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本发明总的涉及一种用于对部件进行精密清洗的基于溶剂的清洗系统。具体而言,本发明涉及一种用于精密部件的双溶剂清洗系统,其利用一种溶剂再生工艺来减少总体溶剂排放量。背景技术 精密的清洗及干燥系统通常利用包含各种溶剂、清洁剂或其他水性混合物的各种各样的清洗溶液。这些系统用于清洗及干燥各种器件或部件,例如医疗器件、光学仪器、晶片、PC板、混合电路、磁盘驱动组件、精密的机械或机电组件等等。许多现有技术系统利用被归类为VOC或挥发性有机化合物(Volatile Org...
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