技术编号：14031319
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。从现有技术中可知用于定期抽空大型腔室的真空泵系统，如图1中所示。通常地，以干燥压缩方式运行的真空泵用于这个目的。一般说来，这些是前级泵的组合，例如螺旋泵、爪型泵或者多级Roots泵以及并联Roots泵。在大型泵系统中，多个泵以及多个Roots泵并联连接。这种泵系统通常用于锁止腔中，例如在涂覆设备中的装载锁或者卸载锁。在这些设备中，腔室必须在很短的时间内从大气压抽降到通常大约在0.1毫巴到10毫巴的传送压力，例如20s到120s的抽降时期。随后，真空泵通过在入口侧的阀门与要抽空的腔室分离，并且在排...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。