技术编号：14035862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造电子器件的光掩模，特别是在以液晶面板、有机EL(电致发光)面板为代表的显示装置(平板显示器)的制造中有用的光掩模及其制造方法、以及使用了该光掩模的显示装置的制造方法。背景技术专利文献1中记载了关于多灰度光掩模的技术，该多灰度光掩模在透明基板上形成有包含遮光部、半透光部和透光部的转印用图案，能够在被转印体上形成具有陡峭的竖立形状的抗蚀剂图案图6是示出专利文献1中记载的多灰度光掩模的构成的侧剖视图。该多灰度光掩模200具备包含遮光部110、半透光部115和透光部120的转印用图...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。