技术编号:14056740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及磨料或微粒材料的喷射装置领域,具体而言,涉及一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置。背景技术在蓝宝石衬底晶片单面研磨过程中,使用的金刚石研磨液一般有两种喷洒方法:一种是用蠕动泵提供动力,将研磨液滴到铜盘上,然后使用陶瓷环将研磨液平铺均匀;另一种是使用研磨液喷头,利用气压将研磨液喷洒在铜盘表面。这两种方式各有优缺点,蠕动泵滴液的方式液流量均匀,但缺点是用量大,且需要配备安装陶瓷环,成本极大的升高;普通的喷液喷头喷洒量稳定性很难保证,忽大忽小或者容易出现喷头堵塞等问题产生异常。实用新型...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。