技术编号:14062952
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种镂空式石墨舟卡点,属于太阳能电池制造技术领域。背景技术在太阳能电池片的制造过程中,硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上,目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中,采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。石墨舟通过设置于石墨舟上的卡点承载待镀膜的硅片,而传统的卡点均为圆柱形,使用这种卡点镀膜后的硅电池片表面被遮挡的面积较大,不仅会影响电池...
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