技术编号：14066611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种散热装置，尤其涉及一种气压喷雾制冷装置。背景技术在粒子加速器和电子显微镜等粒子运动的真空环境中，粒子（电子, 重离子, 质子等）通过薄膜挡板（厚度在0.1mm以下的金属或有机材料）时会产生热量，产生的热量需要及时带走才能确保薄膜状挡板不被烧穿。通常在真空环境中，这些薄膜挡板无法使用风冷散热，可能会因为两个真空环境的真空度失衡而导致腔室薄膜挡板破裂，而且由于水分子对粒子的通过性有影响, 也不能使用水直接冷却。现有技术中的冷却装置在冷却过程中受到高压的影响，喷嘴位置易发生移动，使喷...
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