硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:14070779

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本发明涉及半导体光电子器件技术领域,尤其涉及一种硅基混合集成可调谐激光光源及光子芯片,可应用于光互连、光交换、光传感等领域。背景技术随着人们对信息和通信要求的不断提高,可调谐激光器逐渐成为光通信系统中不可缺少的器件。它不但可以应用在波分复用系统中作为备份的光源来节约维修时间和成本,而且可以应用在通信系统中任何需要波长转变的地方,如波分复用系统中的数据路由、可重构光通信网络等。实现可调谐激光器的方案有多种,如DBR型半导体激光器结构、DFB型半导体激光器、面发射激光器,其中一个重要方案是将半导体光...
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