技术编号:1407094
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种清洗液组成物,其可用于清洗显示器面板或彩色滤光片衬底周边不必要的光致抗蚀剂或平坦化材料。背景技术 一般而言,光致抗蚀剂或热硬化材料要涂布于硅晶片或者玻璃衬底上时,通常以回转的方式,通过离心力使光致抗蚀剂扩散而涂布在衬底的表面,而在涂布后,衬底的顶面、周边、侧缘、背面都附着有光致抗蚀剂。其中,位于衬底顶面的中心部分的涂布层厚度比较均一,但顶面周边则会形成一周边突起部,且在衬底侧缘和背面会各别附着形成一侧缘附着部或一背面附着部。就光致抗蚀剂功用而...
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