技术编号：14075514
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于加工单晶衬底和微机械结构的方法。背景技术通常，微电子机械系统(MEMS)或微机械系统(MMS)被集成到将电气和机械部件彼此组合的小型设备或系统中。例如，术语“微机械”是指微机械部件，可用于描述具有一个或多个微机械元件以及可能但不必须具有电气部件和/或电子部件的小型集成装置或系统。通常，微机电系统可用于提供例如机电换能器，例如，致动器或传感器。MMS可以具有可偏转结构，例如膜或悬臂。作为驱动器，微机电系统(MEMS)可以具有一个或多个MMS，其可偏转结构可以被电偏转。作为传感器(...
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